การสร้างเลเซอร์อินเตอร์เฟียโรมิเตอร์สำหรับวัดความสั่นสะเทือนระดับจุลภาค

Micro Vibration Laser Interferometer

Name: นารีรัตน์ ซิ้มพัฒนวงษ์

Name: Nareerat Simpattanawong

Organization : มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี. คณะวิศวกรรมศาสตร์. สาขาวิชามาตรวิทยาทางอุตสาหกรรม

keyword: เลเซอร์อินเตอร์เฟียโรมิเตอร์

; การวัดความสั่นสะเทือน

Abstract: Micro vibration measurement is very important for developing and producing micro acoustic devices. Micro vibration laser interferometer is a high reliabilitymeasurement technique, which has the lowest error rate. The system is composed of a Helium Neon Laser source and a Michelson Interferometer. The system measures vibration from a micro acoustic device (PZT) and a magnetic coil buzzer. The deviation is calculated by the amount of interference pulses divided by the frequency of the exited sound source. Half amplitude (632.8/2 or 316.4 nrn.) resolution which measured from Helium Neon Laser, provides the highest accuracy. Regarding to high sensitivity of the detecting equipment, nlicro vibration resulting from the air will affect very much through the stand. According to the experiment, the stand, the electrical filter and other equipments, can be used appropriately and effectively in controlled condition although being interupted by unwanted variables in the testing room. As a results, the maximum frequency from the PZT speaker and the magnetic speaker, are 4.4 kHz (16 times of 10.5 urn laser amplitude) and 2.2 kHz (24 times of 10.5 urn laser amplitude) respectively

มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี. สำนักหอสมุด

Address: กรุงเทพมหานคร

Email: info.lib@mail.kmutt.ac.th

Name: วีระพงศ์ จิ๋วประดิษฐ์กุล

Role: อาจารย์ที่ปรึกษา

Created: 2547

Issued: 2007-12-20

Modified: 2558-12-28

วิทยานิพนธ์/Thesis

CallNumber: INC283

tha

DegreeName: วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต

Level: ปริญญาโท

Descipline: มาตรวิทยาทางอุตสาหกรรม

Grantor: มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี

©copyrights มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี

ลำดับที่.	ชื่อแฟ้มข้อมูล	ขนาดแฟ้มข้อมูล	จำนวนเข้าถึง	วัน-เวลาเข้าถึงล่าสุด
1	INC283.pdf	2.33 MB	55	2024-06-21 09:40:48
2	INC283ab.pdf	34.1 KB	13	2024-06-21 09:41:03
3	INC283ab.txt	1.46 KB	5	2018-05-10 18:40:24

ใช้เวลา

0.041598 วินาที