การศึกษาลักษณะของฟิล์มบางไททาเนียมไดออกไซด์ที่เตรียมจากเทคนิค อาร์เอฟแมกนิตรอนสปัตเตอริง ร่วมกับเทคนิคไฮโดรเทอร์มัล บนวัสดุรองรับกระจกสไลด์ และกระจก FTO

Study of Characteristics of TiO2 Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering Technique via Hydrothermal Technique on by Glass Slide and FTO Substrates

Name: เทียมจันทร์ สว่างวัน

keyword: ฟิล์มบางไททาเนียม

ThaSH: กระจก

Classification :.DDC: 502.8 ท749ก

; ไททาเนียมไดออกไซด์

ThaSH: กระจกสไลด์

; เทคนิคอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริงและเทคนิคไฮโดรเทอร์มัล

ThaSH: วิทยาศาสตร์

; วัสดุโครงสร้างนาโน

ThaSH: ไททาเนียมไดออกไซด์

Abstract: งานวิจัยนี้มีวัตถุประสงค์ 1) เพื่อเตรียมฟิล์มบางไททาเนียมด้วยเทคนิค อาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง บนวัสดุรองรับกระจกสไลด์ และ กระจก FTO 2) เพื่อศึกษาผลของฟิล์มบางนาโนไททาเนียมไดออกไซด์ภายใต้ภาวะควบคุมความเข้มของโซเดียมไฮดรอกไซด์ และอุณหภูมิ ด้วยเทคนิคไฮโดรเทอร์มัล 3) เพื่อศึกษาโครงสร้างผลึกและลักษณะเชิงพื้นผิวด้วยเทคนิคการเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์ และเทคนิคกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ผลการวิจัยพบว่า 1. สามารถเตรียมฟิล์มบางไททาเนียมบนแผ่นฐานรองกระจกสไลด์ และกระจก FTO ได้ เมื่อนำไปเผาที่อุณหภูมิ 450 องศาเซลเซียส ได้ฟิล์มบางไททาเนียมไดออกไซด์กระจายอย่างสม่ำเสมอบนแผ่นฐานรองขนาด เส้นผ่านศูนย์กลางของอนุภาค มีเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดนาโนเมตรที่เกาะติดบนแผ่นฐานรองกระจกสไลด์ และกระจก FTO 2. ผลของการเตรียมตัวอย่างภายใต้เงื่อนไข ความเข้มข้นของโซเดียมไฮดรอกไซด์ 10 โมลาร์ อุณหภูมิ 180 องศาเซลเซียส ภายในภาชนะปิดขนาด 30 มิลลิลิตร เป็นเวลา 1 ชั่วโมง และ 2 ชั่วโมง ด้วยเทคนิคไฮโดรเทอร์มัล ของฐานรองกระจกสไลด์ พบว่ามีลักษณะเป็นแท่งเล็ก ๆ กระจายชิดติดกันอย่างสม่ำเสมอ มีเส้นผ่านศูนย์กลางขนาด นาโนเมตร ที่เวลา 1 ชั่วโมง และมีลักษณะเป็นรูพรุนขนาดนาโนเมตรกระจายกันอย่างสม่ำเสมอ ที่เวลา 2 ชั่วโมง ปรากฏรูปแบบการเลี้ยวเบนโครงสร้างผลึกของไททาเนียมไดออกไซด์เฟสอะนาเทสผสมกับเฟสรูไทล์ This research was intended to prepare titanium thin films by technique RF Magnetron sputtering on glass slide and FTO substrates, to study the effect of the thin films of nanotitanium dioxide under the control of concentration and temperature using hydrothermal technique, and to study crystals structure and surface characteristics with X-ray diffraction technique and scanning electron microscopy. The research findings were as follows: 1. The results showed that titanium thin films can be prepared on a sliding glass substrate and when the specimen was annealed at 450 ° C for 2 hours, become a thin film of titanium dioxide. The surface morphology of the samples look like small particles that spread out on the glass slid with diameter of the nanometers and triangle shape on FTO substrates. 2. The effects of preparation under conditions of concentration sodium hydroxide 10 M at 180 degrees celsius in closed system 30 ml for 1 hour and 2 hours with hydrothermal technique. Several pores with small diameters were found to distribute on the surface of the films on glass the nanoporous TiO2 films obtained at 1 and 2 hours.

มหาวิทยาลัยราชภัฏอุบลราชธานี. สำนักวิทยบริการและเทคโนโลยีสารสนเทศ

Address: อุบลราชธานี

Email: info.lib@ubru.ac.th

Name: อาจารย์ ดร.วัชรินกร เมฆลา

Role: ประธานกรรมการที่ปรึกษา

Created: 2560

Modified: 2561-10-10

Created: 2561

Issued: 2561-09-12

วิทยานิพนธ์/Thesis

application/pdf

tha

ไทย

DegreeName: วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต

Level: ปริญญาโท

Descipline: วิทยาศาสตรศึกษา

Grantor: มหาวิทยาลัยราชภัฏอุบลราชธานี

©copyrights มหาวิทยาลัยราชภัฏอุบลราชธานี

ลำดับที่.	ชื่อแฟ้มข้อมูล	ขนาดแฟ้มข้อมูล	จำนวนเข้าถึง	วัน-เวลาเข้าถึงล่าสุด
1	Tiamjan Sawangwan.pdf	3.37 MB	4	2024-09-14 17:51:01

ใช้เวลา

0.028242 วินาที