สวิตซิ่งเพาเวอร์ซัพพลายสำหรับการเคลือบสารแบบสปัตเตอริง

Switching Power Supply for Sputtering Coating System

Name: อุทัย กรรณแก้ว

Organization : มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี

keyword: Sputtering Coating System

; Magnetron

; Dielectric Voltage Breakdown

Abstract: This paper presents a construction of switching power supply which has output voltage ranging from 300 – 800 volts and is controlled by Pulse Width Modulation (PWM) of 14 kHz. It is applied for a sputtering coating system. The sputtering coating system is widely used method for coating workpieces in the industry. The switching power supply controls its output current at the cathode to within 2 Ampere. It can be used to deal with high voltage transients generated from plasma and arc in a magnetron system. A small transients arcing current generated from impurities and dielectric breakdown on cathode (Target) is eliminated by the protection of switching power supply without disrupting the circuit. Electric power generated from switching power supply for sputtering coating system and analysis results of coating system are then compared to calculate the efficiency of the coating system (RE). Finally, the efficiency of switching power supply for sputtering coating is verified and adjust to give maximum efficiency.

มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี

Address: กรุงเทพมหานคร (Bangkok)

Email: info.lib@mail.kmutt.ac.th

Name: รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ

Role: อาจารย์ที่ปรึกษา

Created: 2546

Issued: 2005-09-19

Modified: 2006-05-10

วิทยานิพนธ์/Thesis

ISBN: 9741835639

CallNumber: INC138

tha

DegreeName: Master of Engineering

Level: Master's Degree

Descipline: Industrial Metrology

Grantor: King Mongkut's University of Technology Thonburi

©copyrights มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี

ลำดับที่.	ชื่อแฟ้มข้อมูล	ขนาดแฟ้มข้อมูล	จำนวนเข้าถึง	วัน-เวลาเข้าถึงล่าสุด
1	INC138.pdf	7.21 MB	144	2026-07-13 15:17:12
2	INC138ab.pdf	92.55 KB	63	2026-05-26 18:16:01
3	INC138ab.txt	1.35 KB	38	2026-05-26 18:16:01

ใช้เวลา

0.045494 วินาที