แจ้งเอกสารไม่ครบถ้วน, ไม่ตรงกับชื่อเรื่อง หรือมีข้อผิดพลาดเกี่ยวกับเอกสาร ติดต่อที่นี่ ==>
หากไม่มีอีเมลผู้รับให้กรอก thailis-noc@uni.net.th
หากไม่มีอีเมลผู้รับให้กรอก thailis-noc@uni.net.th
เนตรชนก ยงค์ประเดิม. การเตรียมฟิล์มบางเลดเซอร์โคเนตไททาเนตโดยกระบวนการตกสะสมอิเล็กโทรฟรีติก. ปริญญาโท(สาขาวิชาวิศวกรรมวัสดุ ). มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคลธัญบุรี. สำนักวิทยบริการและเทคโนโลยีสารสนเทศ. : มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคลธัญบุรี, 2559.
การเตรียมฟิล์มบางเลดเซอร์โคเนตไททาเนตโดยกระบวนการตกสะสมอิเล็กโทรฟรีติก
Preparation of Lead Zirconate Titanate Thin Films by Electrophoretic Deposition
Name: เนตรชนก ยงค์ประเดิม
Address:
ปทุมธานี
Organization :
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคลธัญบุรี. คณะวิศวกรรมศาสตร์. สาขาวิชาวิศวกรรมวัสดุ
keyword:
เลดเซอร์โคเนตไททาเนต
ThaSH:
เฟียโซอิเล็กทริก
Classification :.LCCS: QC 176.83
;
ฟิล์มบาง
Abstract:
เลดเซอร์โคเนตไททาเนต(PZT) เป็นเซรามิกเฟอร์โรอิเล็กทริก ที่ใช้ในเครื่องมือต่างๆ เช่น เครื่องโซนาร์ หม้อแปลงไฟฟ้าเพียโซอิเล็กทริก และ เซ็นเซอร์ตรวจวัดความดัน ในงานวิจัยนี้ได้ทำการเตรียมฟิล์มบางเลดเซอร์โคเนตไททาเนตบนฐานรองแพลทินัมโดยวิธีการตกสะสมอิเล็กโทรโฟรีติก ซึ่งเป็นกระบวนการที่ง่ายต่อการเตรียมฟิล์มบางเลดเซอร์โคเนตไททาเนต อุปกรณ์ที่ใช้ไม่ยุ่งยากซับซ้อนรวมถึงมีค่าใช้จ่ายที่ไม่สูง
การเตรียมฟิล์มบางใช้วิธีกระบวนการตกสะสมเล็กโทรโฟรีติกบนฐานรองแพลทินัมขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง 10 มิลลิเมตร จะทำการเตรียมด้วยการให้สนามไฟฟ้าระหว่างขั้วไฟฟ้าในช่วง 50, 100 และ 200 โวลต์ และเวลาในการสะสม 4, 6, 8 และ 10 นาที จากนั้นนำฟิล์มไปเผาผนึกที่ 1250 องศาเซลเซียส เป็นเวลา 2 ชั่วโมง จากนั้นทำการวิเคราะห์สมบัติของฟิล์มที่เตรียมได้ทางกายภาพและสมบัติไดอิเล็กตริกและทางไฟฟ้าอื่นๆ ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEM) เครื่องเอ็กสเรย์ดิฟเฟรกชั่น (XRD) เครื่อง Piezoe d - meter Model CADT และ เครื่อง Impedance analyzer ผลที่ได้จากการศึกษาพบว่า ความหนาของฟิล์มเพิ่มขึ้นเมื่อเพิ่มสนามไฟฟ้าและเวลาในการสะสม แต่ที่สนามไฟฟ้าสูงขึ้นจะมีความหนาแน่นต่ำ ปริมาณของฟอสเฟตเอสเทอร์ที่เหมาะสมและทำให้เนื้อฟิล์มมีความสม่ำเสมอกันคือ ร้อยละ 0.65 โดยน้ำหนักให้สนามไฟฟ้าระหว่างขั้วไฟฟ้า 100 โวลต์ นาน 4 นาที จากนั้นศึกษาสมบัติเพียโซอิเล็กทริกของฟิล์มบางเลดเซอร์โคเนตไททาเนต ที่ได้หลังจากเผาผนึก พบว่าฟิล์มมีความหนา ≈ 0.5 มิลลิเมตร ความหนาแน่นหลังเผาซินเตอริง มีค่าเท่ากับ7.84 g/cm[superscript3] มีค่าความถี่รีโซแนนซ์อยู่ในช่วง 1500 - 1700 kHz และ ค่า d[subscript33], k[subscript P], Q [subscript M] เท่ากับ 259 [subscript P]C/N,0.62, 540 ตามลำดับ
Abstract:
Lead zirconate titanate (PZT) is a ferroelectric ceramic used in many advanced applications
such as sonar, piezo transformer and pressure sensors. This study was conducted to prepare lead
zirconate titanate (PZT) thin film on platinum substrate by electrophoretic deposition (EPD). The EPD
was used due to its fairly rapid low cost process.
The preparation of PZT films was done on a 10-millimeter-diameter platinum substrate by
the EPD. The electric fields were applied between two electrodes in the range of 50, 100 and 200
volts for the deposition times at 4, 6, 8 and 10 minutes. After that, the PZT films were sintered at
1250℃ for 2 hours. The films were then characterized in terms of physical, microstructure, dielectric
and piezoelectric properties by the Scanning Electron Microscope (SEM), X-ray diffraction (XRD),
Piezoe d-meter Model CADT, and Impedance analyzer.
The results showed that the thickness of the PZT films increased with an increase of electric
fields and deposition times. However, the higher the electric field, the lower the density of the films.
The appropriate amount of phosphate esters that resulted in smooth and even films with 100-volt
electric field lasting for 4 minutes was 0.65% by weight. For their piezoelectric properties after being
sintered, it was found that the thickness of films was approximately 0.5 millimeter with the density
of 7.84 g/cm [superscript3]. The films also responded to the resonance frequencies between 1500 and 1700 kHz, and its d[subscript33], k[subscript P], Q [subscript M], values were 259 [subscript P]C/N, 0.62, 540 respectively.
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคลธัญบุรี. สำนักวิทยบริการและเทคโนโลยีสารสนเทศ
Address:
ปทุมธานี
Email:
elibrary@mail.rmutt.ac.th
Name: สรพงษ์ ภวสุปรีย์
Role:
อาจารย์ที่ปรึกษา
Created:
2559
Modified:
2560-10-02
Issued:
2560-10-02
วิทยานิพนธ์/Thesis
application/pdf
CallNumber:
วพ QC 176.83 น784ก
tha
DegreeName: วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต
Level: ปริญญาโท
Descipline: สาขาวิชาวิศวกรรมวัสดุ
Grantor: มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคลธัญบุรี
©copyrights มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคลธัญบุรี
RightsAccess:
ใช้เวลา
0.027944 วินาที
เนตรชนก ยงค์ประเดิม
| Title | Contributor | Type |
|---|---|---|
| การเตรียมฟิล์มบางเลดเซอร์โคเนตไททาเนตโดยกระบวนการตกสะสมอิเล็กโทรฟรีติก
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคลธัญบุรี เนตรชนก ยงค์ประเดิม | สรพงษ์ ภวสุปรีย์ | วิทยานิพนธ์/Thesis |
สรพงษ์ ภวสุปรีย์