เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศ

Nano-Thin film coater by vacuum evaporation technique

Name: สุรสิงห์ ไชยคุณ

Organization : มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์

Email : surasing@buu.ac.th

Name: นิรันดร์ วิทิตอนันต์

Organization : มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์

Email : nirun@buu.ac.th

keyword: ฟิล์มบางนาโน

; ฟิล์มบางอะลูมิเนียม

; ระบบระเหยสาร

; เครื่องเคลือบในสุญญากาศ

Abstract: เครื่องเคลือบระบบระเหยสารสาหรับฟิล์มบางนาโนถูกสร้างและทดสอบในโครงการวิจัยนี้ เครื่องเคลือบที่สร้างมีส่วนประกอบหลัก 3 ส่วน ได้แก่ (1) ส่วนสุญญากาศ (vacuum parts) ประกอบด้วยห้องเคลือบทรงกระบอกทาจากสเตนเลส ความสูงเท่ากับ 285 mm มีเส้นผ่าศูนย์กลางเท่ากับ 205 mm และ ระบบ เครื่องสูบสุญญากาศใช้เครื่องสูบแพร่ไอซึ่งมีเครื่องสูบกลโรตารีเป็นเครื่องสูบท้าย พร้อมวาล์วและมาตรวัดความดัน (2) ส่วนการเคลือบ (coating parts) ประกอบด้วยตัวระเหยสารแบบลวดต้าน ภาคจ่ายไฟฟ้าแรงดันต่า-กระแสสูง และแท่นวางชิ้นงาน และ (3) ส่วนควบคุมการทางาน (control parts) สาหรับคุม ระบบสุญญากาศและการเคลือบ สาหรับผลการทดสอบเครื่องเคลือบใน 2 ด้านคือ (1) ด้านสุญญากาศ พบว่าเครื่องเคลือบที่สร้างขึ้นสามารถลดความดันในห้องเคลือบจากความดันบรรยากาศ (10+3 mbar) ลงมาเท่ากับ 4.5x10-5 mbar ในเวลา 10 นาที และ (2) ด้านการเคลือบ พบว่าสามารถเคลือบฟิล์มบาง อะลูมิเนียมที่มีลักษณะเนียบเรียบและสม่าเสมอดี

Noted: โครงการวิจัยประเภทงบประมาณเงินรายได้จากเงินอุดหนุนจากรัฐบาล (งบประมาณแผ่นดิน) ประจำปีงบประมาณ พ.ศ. 2556

Abstract: In this research project, the coating system for nano scale thin film by evaporation technique were constructed and tested. The coater has mainly 3 parts as (1) the vacuum part which composes of cylindrical stainless steel chamber with 285 mm of height, diameters of 205 mm. The vacuum pumping system consist of the oil diffusion pump back with the rotary pump, valves and pressure gauges, (2) the coating part composes of evapotator with wire resister type, low voltage-high current power supply and substrate holder, and (3) the control part for control vacuum and coating system. The coater system testing showed that (1) the vacuum test, the system can reduce pressure from atmospheric pressure (10+3 mbar) to order of 4.5x10-5 mbar in 10 minute and (2) the deposition test, showed the smooth and good uniform of Al thin film.

มหาวิทยาลัยบูรพา. สำนักหอสมุด

Address: ชลบุรี

Email: buulibrary@buu.ac.th

Created: 2558

Modified: 2558-12-14

Issued: 2558-12-14

งานวิจัย/Research report

application/pdf

tha

©copyrights มหาวิทยาลัยบูรพา

ลำดับที่.	ชื่อแฟ้มข้อมูล	ขนาดแฟ้มข้อมูล	จำนวนเข้าถึง	วัน-เวลาเข้าถึงล่าสุด
1	2559_004.pdf	4.7 MB	38	2022-01-26 21:38:14

ใช้เวลา

0.027943 วินาที