การเปรียบเทียบวิธีการออกแบบการทดลองเพื่อกำหนดค่าพารามิเตอร์ที่เหมาะสมในการเปิดวัสดุห่อหุ้มบนผลิตภัณฑ์สารกึ่งตัวนำด้วยเครื่องฉีดสารเคมี

Comparison of design of experiments for optimal parameters setting in chemical decapsulation method of semiconductor product by automation etching system

Name: ธนพร อภิพรเศรษฐชัย

ThaSH: มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ -- วิทยานิพนธ์. วศ.ม. (การจัดการวิศวกรรม) 2562

Classification :.LCCS: T57.37

ThaSH: มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์. -- สาขาการจัดการวิศวกรรม -- วิทยานิพนธ์

ThaSH: การออกแบบการทดลอง

ThaSH: สารกึ่งตัวนำ

ThaSH: การประมาณค่าพารามิเตอร์

ThaSH: เครื่องฉีดพ่นสารเคมี

Abstract: งานวิจัยนี้มีวัตถุประสงค์เพื่อทำการเปรียบเทียบผลที่ได้จากการออกแบบการทดลองโดยวิธีการออกแบบสปลิทพลอท และการใช้หลักพื้นผิวตอบสนองด้วยการออกแบบเซ็นทรัลคอมโพสิต เพื่อกำหนดระดับปัจจัยที่เหมาะสมต่อการเปิดวัสดุห่อหุ้มบนผลิตภัณฑ์สารกึ่งตัวนำ โดยพิจารณาค่าตอบสนองตามลำดับความสำคัญได้แก่ ค่าแรงดึงลวด ค่าความลึกของวัสดุห่อหุ้มที่ถูกกัดออก และพื้นที่ขอบผลิตภัณฑ์ที่เหลืออยู่ ตามลำดับ ผลการทดลองพบว่า ระดับปัจจัยที่ได้จากหลักการพื้นผิวตอบสนองให้ค่าตอบสนองที่ใกล้เคียงค่าเป้าหมาย มากกว่าการออกแบบสปลิทพลอท โดยระดับปัจจัยที่เหมาะสมได้แก่ สัดส่วนกรดไนตริก 80 เปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนัก อุณหภูมิ 35 องศาเซลเซียส อัตราการไหลของกรด 2 มิลลิลิตรต่อนาที และเวลาที่ใช้ในการฉีดสารเคมี 160 วินาที ทำให้สามารถเปิดวัสดุห่อหุ้มได้สมบูรณ์โดยที่ตัวงานไม่เสียหายจากการกัดกร่อนที่ไม่สามารถควบคุมได้ The aim of this research is to compare the results of design of experiment between split plot design and response surface method using central composite design to determine optimized parameters of chemical decapsulation in semiconductor products. In this research, responses are prioritized as wire pull testing, depth etching, and edge of package remaining respectively. The result reveals that the responses from response surface method are closed to the target than the responses from split plot design. The appropriate levels are nitric acid 80 percent, temperature 35 °C, flow rate 2 ml/min and time 160 seconds. In addition, chemical decapsulation can achieved and also prevent package damage from uncontrollable chemical etching by these parameters setting.

มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์. สำนักหอสมุด

Address: กรุงเทพมหานคร

Email: tdckulib@ku.ac.th

Name: ประไพศรี สุทัศน์ ณ อยุธยา

Role: อาจารย์ที่ปรึกษาวิทยานิพนธ์หลัก

Name: พัชรี โตแก้ว ทองรัตนะ

Role: อาจารย์ที่ปรึกษาวิทยานิพนธ์ร่วม

Created: 2562

Modified: 2567-05-31

Issued: 2567-05-31

วิทยานิพนธ์/Thesis

วิทยานิพนธ์/Thesis

application/pdf

URL: https://kasetsart.idm.oclc.org/login?url=https://www.lib.ku.ac.th/KUthesis/2562/tanaporn-api-all.pdf

CallNumber: T57.37.ธ15

tha

DegreeName: วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต

Level: ปริญญาโท

Descipline: การจัดการวิศวกรรม

Grantor: มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์

©copyrights มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์

ลำดับที่.	ชื่อแฟ้มข้อมูล	ขนาดแฟ้มข้อมูล	จำนวนเข้าถึง	วัน-เวลาเข้าถึงล่าสุด
1	tanaporn-api-all.pdf	3.08 MB

ใช้เวลา

0.02002 วินาที