Functional surfactants in lubricant for microelectronic industry

สารลดแรงตึงผิวเฉพาะทางในสารหล่อลื่นสำหรับอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์

Name: Chuenkamol Khongphow

Abstract: สารลดแรงตึงผิวเฉพาะทางที่ทำหน้าที่เป็นสารเติมแต่งถูกเพิ่มลงในสารหล่อลื่นมาตรฐานพื้นฐานไกลคอลได้รับการศึกษาและปรับให้เหมาะสมเพื่อลดและป้องกันพื้นผิวของหัวอ่านเขียนที่มีสมบัติเป็นแม่เหล็กจากการทับถมกันของสิ่งปนเปื้อนในระหว่างกระบวนการขัด จากผลของกล้องจุลทรรศน์แบบส่องกราด (เอสอีเอ็ม) ที่ติดตั้งเครื่องวิเคราะห์เชิงพลังงาน (อีดีเอส) วิเคราะห์ได้ว่า สิ่งปนเปื้อนนั้นคืออนุภาคบิสมัส (บีไอ) ที่หลุดออกมาจากแผ่นขัดในระหว่างกระบวนการขัดเนื่องมาจากการสึกหรอ ซึ่งสารลดแรงตึงผิวที่ถูกเลือกแสดงผลในการลดและปกป้องการทับถมกันของสิ่งปนเปื้อนโดยการสร้างไมเซลล์ที่ความเข้มข้นมากว่าค่าความเข้มข้นวิกฤตของไมเซลล์ ในงานวิจัยพบว่าพอลิเอธอกซิเลท แอลกอฮอล์ (พีอีเอแอล) และ ควอเทอร์นารี เอมีน (คิวเอ) สามารถสร้างไมเซลล์ได้ในสารหล่อลื่นมาตรฐานที่ความเข้มข้น 1เปอร์เซ็นต์โดยมวล พอลิเอธิลีน ซอร์บิทอล มอนอลอเรท (พีโอ) สามารถปกป้องพื้นผิวโดยหมู่ฟังก์ชันออกซีเอธิลีนภายในโมเลกุลที่การเติมลงไป 0.2 เปอร์เซ็นต์โดยมวล สมบัติและประสิทธิภาพของสารหล่อลื่นที่ถูกปรับปรุงขึ้นวัดค่าการเปลี่ยนแปลงความต้านทานในสนามแม่เหล็กจากการทดสอบควอไซต์-สเตติก สารหล่อลื่นที่ถูกปรับปรุงขึ้นมีการกระจายตัวของความผิดพลาดของสไลเดอร์ต่ำกว่าสารหล่อลื่นมาตรฐาน นอกจากนี้โพเทนทิโอไดนามิก โพลาไรเซชันให้ผลบ่งชี้ว่าสารหล่อลื่นที่ถูกปรับปรุงขึ้นโดยการเติมสารลดแรงตึงผิวให้ผลดีกว่าสารล่อลื่นมาตรฐานถึง 300 เปอร์เซ็นต์ในกรณีของการป้องกันการกัดกร่อนในระหว่างกระบวนการขัด ดังนั้นสารลดแรงตึงผิวเหล่านี้สามารถทำงานได้ทั้งในฐานะสารเติมแต่งป้องกันการปนเปื้อนและสารเติมแต่งป้องกันการกัดกร่อน นอกจากนี้สารหล่อลื่นที่ถูกปรับปรุงขึ้นเหล่านี้ยังให้เวลาในการขัดและสมบัติทางกายภาพอื่น ๆ ตรงตามความต้องการในการผลิตสไลเดอร์

Abstract: สารลดแรงตึงผิวเฉพาะทางที่ทำหน้าที่เป็นสารเติมแต่งถูกเพิ่มลงในสารหล่อลื่นมาตรฐานพื้นฐานไกลคอลได้รับการศึกษาและปรับให้เหมาะสมเพื่อลดและป้องกันพื้นผิวของหัวอ่านเขียนที่มีสมบัติเป็นแม่เหล็กจากการทับถมกันของสิ่งปนเปื้อนในระหว่างกระบวนการขัด จากผลของกล้องจุลทรรศน์แบบส่องกราด (เอสอีเอ็ม) ที่ติดตั้งเครื่องวิเคราะห์เชิงพลังงาน (อีดีเอส) วิเคราะห์ได้ว่า สิ่งปนเปื้อนนั้นคืออนุภาคบิสมัส (บีไอ) ที่หลุดออกมาจากแผ่นขัดในระหว่างกระบวนการขัดเนื่องมาจากการสึกหรอ ซึ่งสารลดแรงตึงผิวที่ถูกเลือกแสดงผลในการลดและปกป้องการทับถมกันของสิ่งปนเปื้อนโดยการสร้างไมเซลล์ที่ความเข้มข้นมากว่าค่าความเข้มข้นวิกฤตของไมเซลล์ ในงานวิจัยพบว่าพอลิเอธอกซิเลท แอลกอฮอล์ (พีอีเอแอล) และ ควอเทอร์นารี เอมีน (คิวเอ) สามารถสร้างไมเซลล์ได้ในสารหล่อลื่นมาตรฐานที่ความเข้มข้น 1เปอร์เซ็นต์โดยมวล พอลิเอธิลีน ซอร์บิทอล มอนอลอเรท (พีโอ) สามารถปกป้องพื้นผิวโดยหมู่ฟังก์ชันออกซีเอธิลีนภายในโมเลกุลที่การเติมลงไป 0.2 เปอร์เซ็นต์โดยมวล สมบัติและประสิทธิภาพของสารหล่อลื่นที่ถูกปรับปรุงขึ้นวัดค่าการเปลี่ยนแปลงความต้านทานในสนามแม่เหล็กจากการทดสอบควอไซต์-สเตติก สารหล่อลื่นที่ถูกปรับปรุงขึ้นมีการกระจายตัวของความผิดพลาดของสไลเดอร์ต่ำกว่าสารหล่อลื่นมาตรฐาน นอกจากนี้โพเทนทิโอไดนามิก โพลาไรเซชันให้ผลบ่งชี้ว่าสารหล่อลื่นที่ถูกปรับปรุงขึ้นโดยการเติมสารลดแรงตึงผิวให้ผลดีกว่าสารล่อลื่นมาตรฐานถึง 300 เปอร์เซ็นต์ในกรณีของการป้องกันการกัดกร่อนในระหว่างกระบวนการขัด ดังนั้นสารลดแรงตึงผิวเหล่านี้สามารถทำงานได้ทั้งในฐานะสารเติมแต่งป้องกันการปนเปื้อนและสารเติมแต่งป้องกันการกัดกร่อน นอกจากนี้สารหล่อลื่นที่ถูกปรับปรุงขึ้นเหล่านี้ยังให้เวลาในการขัดและสมบัติทางกายภาพอื่น ๆ ตรงตามความต้องการในการผลิตสไลเดอร์

Chulalongkorn University. Office of Academic Resources

Address: BANGKOK

Email: cuir@car.chula.ac.th

Name: Sukkaneste Tungasmita

Role: advisor

Name: Duangmol Tungasmita

Role: advisor

Created: 2017

Modified: 2566-01-25

Issued: 2023-01-25

วิทยานิพนธ์/Thesis

application/pdf

URL: http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/76819

eng

DegreeName: Master of Science

Level: Master's Degree

Descipline: Petrochemistry and Polymer Science

Grantor: Chulalongkorn University

©copyrights Chulalongkorn University

ลำดับที่.	ชื่อแฟ้มข้อมูล	ขนาดแฟ้มข้อมูล	จำนวนเข้าถึง	วัน-เวลาเข้าถึงล่าสุด
1	5771961823.pdf	3.08 MB

ใช้เวลา

0.038081 วินาที