การศึกษาสมบัติของฟิล์มบางโพลิเมอร์ที่ผลิตโดยวิธีเคลือบแบบหมุนเหวี่ยงเยื้องศูนย์ : รายงานการวิจัยฉบับสมบูรณ์

Study of the properties of off-centre spin-coated thin film polymers

Name: กมล วสะภิญโญกุล

ThaSH: ฟิล์มบาง -- สมบัติทางไฟฟ้า -- วิจัย

ThaSH: กระบวนการเคลือบผิว -- เครื่องมือและอุปกรณ์ -- วิจัย

Abstract: การเคลือบแบบหมุนเหวี่ยงเยื้องศูนย์เป็นหนึ่งในวิธีการสร้างฟิล์มบางบนแผ่นชิ้นงานเมื่อแผ่นชิ้นงานถูก ติดตั้ง ณ ตําแหน่งเยื้องศูนย์ซึ่งอยู่ห่างจากจุดศูนย์กลางการหมุนของเครื่องเคลือบแบบหมุนเหวี่ยง ในรายงานฉบับนี้ แบบจําลองทางคณิตศาสตร์ที่ใช้ในการคํานวณความหนาของฟิล์มที่ผลิตโดยเทคนิคการเคลือบแบบหมุนเหวี่ยงเยื้องศูนย์ได้ถูกพัฒนาและนําเสนอขึ้น แบบจําลองที่พัฒนาดังกล่าวแสดงได้เห็นว่า ความหนาของฟิล์มที่ได้จากการเคลือบแบบหมุนเหวี่ยงเยื้องศูนย์นี้สามารถถูกคํานวณได้จากตัวแปร 4 ตัว คือ ค่าความหนาของฟิล์มที่ได้จากการเคลือบแบบตรงศูนย์ ค่าสัดส่วนมวลของของแข็งในฟิล์มเปียก ความยาวของแผ่นชิ้นงานในทิศทางตามรัศมีการหมุน และระยะเยื้องศูนย์ กล่าวโดยง่ายคือ ความหนาของฟิล์มเยื้องศูนย์แปรผกผันกับระยะเยื้องศูนย์ยกกําลังหนึ่งส่วนสาม กล่าวคือ เมื่อระยะเยื้องศูนย์ไกลขึ้น ฟิล์มจะบางลง แบบจําลองนี้ได้รับการตรวจสอบโดยความหนาของฟิล์มบางที่คํานวณได้จากแบบจําลองได้ถูกนําไปเปรียบเทียบกับค่าที่ได้จากการทดลองซึ่งเป็นความหนาของฟิล์มเยื้องศูนย์ที่ทําจากสารพอลิไวนิลิดีนฟลูออไรด์ หรือ พีวีดีเอฟ ณ ระยะเยื้องศูนย์ต่าง ๆ จากการเปรียบเทียบ พบว่าค่าที่ได้จากแบบจําลองและค่าที่ได้จากการทดลองมีค่าใกล้เคียงกันและมีแนวโน้มไปในทิศทางเดียวกัน ซึ่งบ่งชี้ถึงความถูกต้องของแบบจําลองดังกล่าว นอกจากนี้ ในรายงานยังกล่าวถึงข้อจํากัดของการใช้แบบจําลองด้วย

สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง. สำนักหอสมุดกลาง

Address: กรุงเทพมหานคร

Email: Lifelong@kmitl.ac.th

Name: สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง. วิทยาลัยนวัตกรรมการผลิตขั้นสูง

Role: ผู้ให้ทุน

Created: 2560

Modified: 2565-07-19

Issued: 2565-07-19

งานวิจัย/Research report

application/pdf

tha

©copyrights สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง

ลำดับที่.	ชื่อแฟ้มข้อมูล	ขนาดแฟ้มข้อมูล	จำนวนเข้าถึง	วัน-เวลาเข้าถึงล่าสุด
1	RC00295.pdf	2.09 MB	1	2022-07-19 11:42:28

ใช้เวลา

0.027987 วินาที