Growth and Characterization ofNanostructure Anatase Phase TiO2 Thin Films Prepared by DC Reactive Unbalanced Magnetron Sputtering

การปลูกและการวิเคราะห์ฟิล์มบางไทเทเนียมไดออกไซด์ซึ่งมีโครงสร้างเป็นเฟสอนาเทสระดับนาโน โดยวิธีดีซีรีแอกทีฟอันบาลานซ์แมกนีตรอนสปัตเตอริง

Name: Surasing Chaiyakun

Name: สุรสิงห์ ไชยคุณ

keyword: Titanium Dioxide

Abstract: Titanium dioxide thin films were deposited on three different unheated substrates by unbalanced magnetron sputtering. The effects of the sputtering current and deposition time on the crystallization of TiO2 thin films were studied. The TiO2 thin films were deposited at three sputtering current values of 0.50, 0.75 and 1.00 A, anel with different deposition times of 25, 35 and 45 min, respectively. The surface morphology of the films was investigated by atomic force microscopy (AFM). The structure was characterized by X-ray diffraction (XRD), transmission electron microscopy (TEM) and field emission scanning electron microscopy (FE-SEM). The optical property was evaluated with spectroscopic ellipsometry. The results showed that polycrystalline anatase films were obtained at low sputtering currents. The crystallinity of the anatase phase increases with the increasing of sputtering current. Furthermore, nanostructure anatase phase TiO2 thin films were obtained for all deposition conditions. In addition, the grain size increased as the sputtering current and deposition time were increased. The grain size ofTi02 thin films was in the range 10-30 nm.

Abstract: ฟิล์มบางไทเทเนียมไดออกไซด์ถูกสร้างขึ้นบนชิ้นงานที่ไม่ถูกให้ความร้อนแตกต่างกัน 3 ชิ้นโดย อันบาลานซ์แมกนีตรอนสปัตเตอริง ผลของกระแสสปัตเตอริงและเวลาในการเคลือบที่มีต่อโครงผลึก ของฟิล์มบางไทเทเนียมไดออกไซด์ได้ถูกศึกษา ฟิล์มบางไทเทเนียมไดออกไซด์ถูกสร้างขึ้นที่ค่า กระแสสปัตเตอริง 0.50, 0.75 และ 1.00 แอมแปร์ และเวลาในการเคลือบที่แตกต่างกันเป็น 25, 35 และ 45 นาที ตามลำดับ ลักษณะพื้นผิวของฟิล์มถูกตรวจสอบด้วย atomic force microscopy โครงสร้าง ถูกบอกลักษณะโดย X-ray diffraction, transmission electron microscopy และ field emission scanning electron microscopy และคุณสมบัติทางแสงถูกวัดด้วย spectroscopic ellipsometry ผลลัพธ์แสดงได้ว่า ฟิล์มบางมีเฟสอนาเทสที่มีหลายผลึกเกิดขึ้นได้ที่กระแสสปัตเตอริง ต่ำ ความเป็นผลึกของเฟสอนาเทสเพิ่มขึ้นตามกระแสสปัตเตอริงที่เพิ่มขึ้น นอกจากนี้ ฟิล์มบาง ไทเทเนียมไดออกไซด์เฟสอนาเทสโครงสร้างนาโนเกิดขึ้นทุก ๆ เงื่อนไขการเคลือบ ขนาดเกรนเพิ่มขึ้น ตามกระแสสปัตเตอริง และเวลาในการเคลือบที่เพิ่มมากขึ้น ขนาดเกรนของฟิล์มบางไทเทเนียมได ออกไซด์อยู่ในช่วง 10 ถึง 30 นาโนเมตร

King Mongkut's University of Technology Thonburi. KMUTT Library.

Address: BANGKOK

Email: info.lib@mail.kmutt.ac.th

Name: Pichet Limsuwan

Role: Advisor

Created: 2009

Modified: 2011-01-30

Issued: 2554-01-21

วิทยานิพนธ์/Thesis

application/pdf

CallNumber: PHY541

eng

DegreeName: Doctor of Philosophy

Level: Doctoral Degree

Descipline: Physics

Grantor: King Mongkut's University of Technology Thonburi

©copyrights King Mongkut's University of Technology Thonburi

ลำดับที่.	ชื่อแฟ้มข้อมูล	ขนาดแฟ้มข้อมูล	จำนวนเข้าถึง	วัน-เวลาเข้าถึงล่าสุด
1	PHY541.pdf	2.78 MB	186	2024-12-16 13:59:39
2	PHY541ab.pdf	37.65 KB	41	2018-05-11 01:07:36

ใช้เวลา

0.038335 วินาที