ผลของกระแสสปัตเตอริงต่อโครงสร้างของฟิล์มบางไทเทเนียมไนไตรด์ ที่เคลือบด้วยวิธีรีแอคตีฟดีซีแมกนีตรอนสปัตเตอริง

Effect of sputtering current on the structure of Titanium Nitride thin film deposited by reactive DC magnetron sputtering

Name: นิรันดร์ วิทิตอนันต์

Name: อมรรัตน์ คำบุญ

Name: ศิริวัชร์ อาลักษณสุวรรณ

Name: อดิศร บูรณวงศ์

ThaSH: ฟิล์มบาง

ThaSH: ไทเทเนียมไนไตรด์

ThaSH: พื้นผิววัสดุ (เทคโนโลยี)

Abstract: ฟิล์มบางไทเทเนียมไนไตรด์ (TiN) โครงสร้างระดับนาโนเคลือบลงบนแผ่นซิลิคอนและกระจกสไลด์ที่เป็นวัสดุรองรับด้วยเทคนิครีแอคตีฟดีซีแมกนีตรอนสปัตเตอริง เพื่อศึกษาผลของกระแสสปัตเตอริง ในช่วง 300 – 700 mA ที่มีต่อโครงสร้างของฟิล์ม โดยฟิล์มบางที่เคลือบถูกนำไปวิเคราะห์ด้วยเทคนิคต่าง ๆ ได้แก่ โครงสร้างผลึกวิเคราะห์ด้วยเทคนิค GI-XRD ความหนา โครงสร้างจุลภาคและลักษณะพื้นผิวศึกษาด้วยเทคนิค FE-SEM องค์ประกอบทางเคมีวิเคราะห์ด้วยเทคนิค EDS สีของฟิล์มวัดด้วยเครื่องยูวีวิสสเปคโตรโฟโตมิเตอร์ ผลการศึกษาพบว่าฟิล์มบางไทเทเนียมไนไตรด์ที่เคลือบได้มีโครงสร้างผลึกเป็นแบบเฟซเซนต์เตอร์คิวบิค (fcc) ที่ระนาบ (111), (200), (220) และ (311) ค่าคงที่แลตทิซมีค่าในช่วง 4.241 - 4.245 Å ทั้งนี้ฟิล์มที่เคลือบได้ทั้งหมดมีโครงสร้างผลึกในระดับนาโนโดยมีขนาดผลึกน้อยกว่า 65 nm ความหนาและขนาดผลึกมีค่าเพิ่มขึ้นเมื่อกระแสสปัตเตอริงเพิ่มขึ้น โดยความหนามีค่าในช่วง 412 nm ถึง 1202 nm และขนาดผลึกมีค่าในช่วง 37.0 nm ถึง 64.3 nm ทั้งนี้ฟิล์มที่เคลือบได้มีไทเทเนียมและไนโตรเจนเป็นองค์ประกอบในอัตราส่วนต่าง ๆ แปรค่าตามกระแสสปัตเตอริง ผลจากการวิเคราะห์ภาคตัดขวางด้วยเทคนิค FE-SEM แสดงให้เห็นว่าฟิล์มที่เคลือบได้มีโครงสร้างแบบคอมแพคคอลัมนาร์ สีของฟิล์มที่เคลือบได้เมื่อวัดในระบบ CIE L*a*b* แปรค่าตามกระแสสปัตเตอริง โดยสีของฟิล์มที่เคลือบด้วยกระแสสปัตเตอริงสูงในช่วง 500 – 700 mA มีค่าใกล้เคียงกับสีของทองคำ 24K

มหาวิทยาลัยบูรพา. สำนักหอสมุด

Address: ชลบุรี

Email: buulibrary@buu.ac.th

Created: 2563

Modified: 2563-09-03

Issued: 2563-09-03

บทความ/Article

application/pdf

ISBN: 2351-0781

BibliograpyCitation : วารสารวิทยาศาสตร์บูรพา. ปีที่ 25, ฉบับที่ 1 (ม.ค.-เม.ย. 2563), หน้า 387-399

tha

©copyrights มหาวิทยาลัยบูรพา

ลำดับที่.	ชื่อแฟ้มข้อมูล	ขนาดแฟ้มข้อมูล	จำนวนเข้าถึง	วัน-เวลาเข้าถึงล่าสุด
1	387-399.pdf	1.13 MB

ใช้เวลา

0.03716 วินาที