การตรวจสอบไมโครแอคชูเอเตอร์ชนิดเพียโซอิเล็กทริคโดยใช้คุณสมบัติการเปลี่ยนแปลงค่าความจุไฟฟ้าและขณะให้ความร้อน

Inspection of piezoelectric microactuator based-on heat-assisted capacitive measurement

Name: เอกชัย ไผ่แก้ว

Organization : สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง. คณะวิศวกรรมศาสตร์

keyword: เพียโซอิเล็กทริก

; ไมโครแอคชูเอเตอร์

; Piezoelectricity

; Microactuator

Abstract: วิทยานิพนธ์ฉบบันี้นำเสนอการออกแบบและการสร้างต้นแบบอุปกรณ์ตรวจสอบความบกพร่องของไมโครแอคชูเอเตอร์ที่สร้างจากวัสดุเพียโซอิเล็กทริค (PZT) ชนิดเซรามิคฟิล์มบางและวงจรควบคุม สำหรับใช้งานในหัวอ่านและหัวเขียนของฮาร์ดดิสไดรฟ์ เครื่องต้นแบบสามารถตรวจสอบความบกพร่องของไมโครแอคชูเอเตอร์และวงจรควบคุมที่เกิดจากสาเหตุการเชื่อมต่อที่ไม่สมบูรณ์ของวงจรควบคุมที่ทำให้เกิดการเปิดวงจร การตรวจสอบความบกพร่องใช้คุณสมบัติสองประการของ PZT กล่าวคือ ประการแรก PZT มีวงจรสมมูลย์ทางไฟฟ้าเป็นตัวเก็บประจุ หากมีการเชื่อมต่อของวงจรที่สมบูรณ์จะสามารถวัดค่าความจุไฟฟ้าที่แน่นอนได้ค่าหนึ่ง ประการที่สองค่าความจุไฟฟ้าดังกล่าวมีค่าเพิ่มขึ้นเมื่ออุณหภูมิเพิ่มขึ้นอันเนื่องมาจากการที่ค่าความยินยอมสัมพัทธ์ทางไฟฟ้าของวัสดุ PZT มีค่าเพิ่มขึ้นตามอุณหภูมิ ปัจจุบันในการตรวจสอบจะวัดค่าความจุไฟฟ้าสมมูลย์ของไมโครแอคชูเอเตอร์ผ่านทางจุดเชื่อมต่อกับวงจรควบคุม หากมีความบกพร่องเกิดขึ้นค่าที่วัดได้จะต่ำกว่าข้อกำหนด อย่างไรก็ตามวิธีนี้มีข้อจำกัดเนื่องจากในปัจจุบันวงจรควบคุมหนึ่งวงจรจะควบคุมไมโครแอคชูเอเตอร์พร้อมกันหลายตัว ดังนั้นวงเสมือนของวงจรควบคุมไมโครแอคชูเอเตอร์จึงประกอบด้วยไมโครแอคชูเอเตอร์หลายตัวต่อขนานกันอยู่ ทำให้ค่าความจุไฟฟ้าที่วัดได้เป็นค่าผลรวมของตัวเก็บประจุที่ขนานกันอยู่ หากวงจรที่เชื่อมต่อกับวงจรไมโครแอคชูเอเตอร์ตัวใดตัวหนึ่งหรือหลายตัวมีการเปิดวงจร จะทำให้ค่าความจุไฟฟ้ารวมที่วัดได้ลดลง แต่ยังไม่สามารถระบุตำแหน่งของไมโครแอคชูเอเตอร์ที่เปิดวงจรได้ วิทยานิพนธ์ฉบับนี้จึงนำเสนอวิธีให้ความร้อนด้วยเลเซอร์ไปยังไมโครแอคชูเอเตอร์ที่ละตัวในเวลาเดียวกันการวัดค่าตัวเก็บประจุ หากมีการเปิดวงจรเกิดขึ้นที่ไมโครแอคชูเอเตอร์ตัวใดค่าความจุไฟฟ้ารวมที่วัดได้ขณะนั้นจะไม่เกิดการเปลี่ยนแปลง ทำให้สามารถระบุตำแหน่งการเปิดวงจรได้ ผลการทดสอบเครื่องต้นแบบและวิเคราะห์ข้อมูลด้วยค่าทางสถิติพบว่าสามารถใช้งานได้จริงในสายการผลิต

สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง. สำนักหอสมุดกลาง

Address: กรุงเทพมหานคร

Email: Lifelong@kmitl.ac.th

Name: กสิน วิเชียรชม

Role: อาจารย์ที่ปรึกษาวิทยานิพนธ์

Created: 2561

Modified: 2563-05-29

Issued: 2563-05-29

วิทยานิพนธ์/Thesis

application/pdf

CallNumber: EThesis

tha

DegreeName: วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต (วิศวกรรมอิเล็กทรอนิกส์)

Level: ปริญญาโท

Descipline: วิศวกรรมอิเล็กทรอนิกส์

Grantor: สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง

©copyrights สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง

ลำดับที่.	ชื่อแฟ้มข้อมูล	ขนาดแฟ้มข้อมูล	จำนวนเข้าถึง	วัน-เวลาเข้าถึงล่าสุด
1	Fulltext Ekkachai Paikaw.pdf	24.53 MB	6	2021-07-21 13:10:42

ใช้เวลา

0.032823 วินาที