แจ้งเอกสารไม่ครบถ้วน, ไม่ตรงกับชื่อเรื่อง หรือมีข้อผิดพลาดเกี่ยวกับเอกสาร ติดต่อที่นี่ ==>
หากไม่มีอีเมลผู้รับให้กรอก thailis-noc@uni.net.th
หากไม่มีอีเมลผู้รับให้กรอก thailis-noc@uni.net.th
Nitinai Udomkan. การศึกษาวิเคราะห์ฟิล์มบางไททาเนียมไนไตรด์เคลือบด้วยวิธีสปัตเตอริง. ปริญญาโท(ฟิสิกส์). มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี. : มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี, 2546.
การศึกษาวิเคราะห์ฟิล์มบางไททาเนียมไนไตรด์เคลือบด้วยวิธีสปัตเตอริง
Characterization of TiN Thin Film Coatings on Stainless Steel by Magnetron Sputtering
Name: นิตินัย อุดมกัน
Organization :
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี
Name: Nitinai Udomkan
keyword:
Reactive Magnetron Sputtering
Abstract:
Properties of thin titanium nitride (TiN) films deposited on 304 stainless steel substrates using a home-made magnetron sputtering device were investigated at three different nitrogen flow rates, 3.84, 5.76 and 7.84 cm3 per second (sccm) under mixed gases pressure of argon and nitrogen respectively. At the optimal nitrogen flow rate of 7.84 sccm X-ray diffraction (XRD) patterns revealed the development of fcc TiN phase with the plane (200) orientation parallel to the plane of substrate, having the lattice parameter ? 0.4205 nm and average nanograin size of 86 nm. Scanning electron microscopy and Atomic force microscope examination indicated that the film structure was more uniform and denser for substrate temperature. At 350oC, there are uniform film structures with some a big hump of titanium nitride films. It was found that the microhardness was strongly dependent on smoothness of the film, the maximum of which was achieved at 33.4 GPa. All these results were analyzed and presented as a function of the deposition parameters and composition, and crystalline phases existed in the films.
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี
Address:
กรุงเทพมหานคร (Bangkok)
Email:
info.lib@mail.kmutt.ac.th
Name: รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ
Role:
อาจารย์ที่ปรึกษา
Created:
2546
Issued:
2005-09-08
Modified:
2006-05-10
วิทยานิพนธ์/Thesis
ISBN:
9744563885
CallNumber:
PHY297
tha
DegreeName: วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต
Level: ปริญญาโท
Descipline: ฟิสิกส์
©copyrights มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี
RightsAccess:
ใช้เวลา
0.028923 วินาที
นิตินัย อุดมกัน
| Title | Contributor | Type |
|---|---|---|
| การศึกษาวิเคราะห์ฟิล์มบางไททาเนียมไนไตรด์เคลือบด้วยวิธีสปัตเตอริง
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี นิตินัย อุดมกัน ;Nitinai Udomkan | รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | วิทยานิพนธ์/Thesis |
Nitinai Udomkan
| Title | Contributor | Type |
|---|---|---|
| การศึกษาวิเคราะห์ฟิล์มบางไททาเนียมไนไตรด์เคลือบด้วยวิธีสปัตเตอริง
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี นิตินัย อุดมกัน ;Nitinai Udomkan | รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | วิทยานิพนธ์/Thesis |
| การศึกษาแมงกานีสไอออนในหอยน้ำจืดโดยอิเล็กตรอนสปินรีโซแนนซ์
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี นิตินัย อุดมกัน;Nitinai Udomkan | พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ Pichet Limsuwan | วิทยานิพนธ์/Thesis |
รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ
| Title | Creator | Type and Date Create |
|---|---|---|
| การศึกษาระบบนีโอดีเมียมแย๊กเลเซอร์โดยใช้เลเซอร์ไดโอดกระตุ้นจากด้านข้าง
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | วีระ บุญผุด Weera Boonphud | วิทยานิพนธ์/Thesis |
| การศึกษาวิเคราะห์ฟิล์มบางไททาเนียมไนไตรด์เคลือบด้วยวิธีสปัตเตอริง
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | นิตินัย อุดมกัน Nitinai Udomkan | วิทยานิพนธ์/Thesis |
| การศึกษาและสร้างเตาสุญญากาศ
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | ประกาศิต ช่างสุพรรณ Pralasit Changsuphan | วิทยานิพนธ์/Thesis |
| การศึกษาการเคลือบฟิล์มบางอลูมิเนียมออกไซด์เพื่อประยุกต์ในการเคลือบป้องกันผิว
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | ธนัสถา รัตนะ Tanattha Rattana | วิทยานิพนธ์/Thesis |
| สวิตซิ่งเพาเวอร์ซัพพลายสำหรับการเคลือบสารแบบสปัตเตอริง
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | อุทัย กรรณแก้ว | วิทยานิพนธ์/Thesis |
| การศึกษาคุณสมบัติของนีโอดีเมียมแย๊กเลเซอร์แบบลำแสงต่อเนื่อง
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | มลฤดี ผิวขำ | วิทยานิพนธ์/Thesis |
| การศึกษาวิเคราะห์สมบัติทองผสม
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | กิตติพงษ์ กิมะพงศ์ | วิทยานิพนธ์/Thesis |
| เลเซอร์ไมโครแมชชีนนิ่ง
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | อัศวิน เรณูสวัสดิ์ | วิทยานิพนธ์/Thesis |
| การศึกษาผิวเรียบของวัสดุความละเอียดสูงโดยใช้เทคนิคฟีโซอินเตอร์ฟีรอมิเตอร์
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | พงศ์สิทธิ์ รัตนกรวิทย์ | วิทยานิพนธ์/Thesis |
| การศึกษาระบบเออร์เบียมแย็กเลเซอร์เพื่อประยุกต์ใช้ในงานทันตกรรม
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | อมรินทร์ รัตนะวิศ | วิทยานิพนธ์/Thesis |
| การศึกษาเปรียบเทียบเนื้อเยื่อปกติกับเนื้อเยื่อมะเร็งโดยอาศัยเทคนิคการเกิดฟลูออเรสเซนต์ด้วยแสงเลเซอร์
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี รศ.ดร. พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ | สุธี จันทราภาขจี | วิทยานิพนธ์/Thesis |